Temiz Oda Laboratuvarı

ODTÜ Fizik Bölümü bodrum katında konumlanmış toplam 150 m² laboratuvar alanı ile dört bölümden oluşmaktadır. Tesisin ana alanında kristal Si ve Si bazlı ince film üretim ekipmanları yer almaktadır. Islak kimyasal işleme ve optik litografi süreçleri için özel alanlar tahsis edilmiştir.

Eski temiz oda tesisi, farklı fabrikasyon aşamalarını izole etmek amacıyla dört ayrı çalışma istasyonuna bölünmüştür. Ana üretim sahası olan en büyük bölümde, uzun süreli ısıl işlemler için tavlama fırınları ve ince film büyütme süreçleri için PVD kaplama cihazları bulunmaktadır. İkinci geniş alan, malzemelerin hızlı ısıl işlemleri ve desen oluşturma süreçlerini içeren metal baskı uygulamaları için yapılandırılmıştır. Kalan iki bağımsız bölümden biri metal buharlaştırma işlemleri için, diğeri ise kimyasal prosedürlerin güvenle uygulanabildiği ıslak tezgah altyapısı için kullanılmaktadır.

Araştırma Parkı'na yaklaşık 600 m² alan içerisine yeni yapılacak temiz alanın inşaatı 2025 yılında başlamış olup 2026 yılında faaliyete geçmesi hedeflenmektedir. Yeni temiz odada 1.000, 10.000 ve 100.000 sınıfı alanlar bulunacaktır.